国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
主要起草人 马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。
GB/T 40109-2021 现行
71 化工技术 |
71.040 分析化学 |
71.040.40 化学分析 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 17560:2014。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。