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国家标准计划《碳化硅单晶位错密度的测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

主要起草人 彭同华佘宗静娄艳芳王大军赵宁王波郭钰杨建李素青

目录

项目进度

基础信息

计划号
20202830-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2020-08-07
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

彭同华
佘宗静
赵宁
王波
李素青
娄艳芳
王大军
郭钰
杨建

投票情况

投票日期
2018-03-19~2018-04-04
通过率
86.00%
投票日期
2021-12-31~2022-01-10
通过率
100.00%

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