国家标准计划《半导体器件 微机电器件 第20部分:陀螺仪》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 苏州市质量和标准化院等 。
31 电子学 |
31.080 半导体分立器件 |
31.080.99 其他半导体分立器件 |
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-20:2014。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第20部分:陀螺仪。
陀螺仪是一种能够精确地确定运动物体方位的仪器,是现代航空、航海、航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器。
近年来,随着MEMS(微机电系统)技术的发展,MEMS陀螺仪的研究与发展受到了广泛的重视。
MEMS陀螺仪具有体积少、重量轻、可靠性好、易于系统集成等优点,应用范围广阔。
本标准规定了陀螺仪的术语和定义、基本等级和特征,以及测量方法。 陀螺仪主要用于消费者、一般工业和航空航天应用。MEMS和半导体激光器广泛用于陀螺仪的装置技术。