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国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口上报,TC159SC5(全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 中车信息技术有限公司清华大学北京机械工业自动化研究所有限公司中国石油规划总院

主要起草人 顾明程嘉李丽季林红陈莉曹自立张颖黎晓东王海丹王峰

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 37959-2019
发布日期
2019-08-30
实施日期
2020-03-01
中国标准分类号
J07
国际标准分类号
35.240.50
35 信息技术、办公机械
35.240 信息技术应用
35.240.50 信息技术在工业中的应用
归口单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

起草人

顾明
程嘉
陈莉
曹自立
王海丹
王峰
李丽
季林红
张颖
黎晓东

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