国家标准计划《真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱计特性》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TS 20175:2018。

采标中文名称:真空技术-真空计-用于分压力测量的四极质谱计特性。

四极质谱计广泛应用在残余气体分析、物质成分鉴定与定量分析、密封产品的原工质检漏测试等领域，是现在科技发展中，重要的分析仪器。

四极质谱计作为精密的物质成分分析设备，主要采用物质质荷比来判断物质成分，原理复杂，在分析过程中，仪器参数设置的不同，便会对结果产生较大的影响，且测试过程中涉及到的参数众多，作为一种测量仪器，需要对其测量性能进行计量，目前在真空计量界尚未对四极质谱计的计量参数给出明确的规定，致使在使用过程中，用户仅对关心的参数进行校准，不利于测量结果的推广。

通过该项目的研究，确定四极质谱计的主要特征参数，以及这些特征参数的计量方法，并对四极质谱计测量结果的不确定度评定给予了规定，为四极质谱计在气体分析领域的应用打开大门，方便了不同工业部门之间的交流，解决了四极质谱计的计量特性评定问题。

本文件规定了四极质谱计的计量特性，对质谱计计量特性产生影响的参数，特征参数的表述方法，主要特征参数的设置和校准方法，以及特征参数不确定度的评定方法等。四极质谱计在真空系统的长时间泄漏监测、采用示漏气体的漏率测量、残余气体分析、材料出气率测试中的应用等。