国家标准计划《电工术语 微机电装置》由 TC232（全国电工术语标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、机械科学研究总院集团有限公司 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 60050-523。

采标中文名称:国际电工词汇 微机电装置。

该标准为新制定项目。

随着机械、电子等领域技术的不断发展，人们对于产品的体积、智能程度等方面要求越来越高， 微机电装置的地位逐渐凸显。

微机电技术涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。

MEMS具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点，这些特点让微机电装置普遍具有体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。

现在微机电装置在国民经济和军事系统方面已取得了不容小觑的效益，并将有着更广泛的应用前景。

其主要民用领域包括电子、医学、工业、汽车和航空航天系统等。

然而现阶段术语标准的制定落后于技术的创新与更迭，无法兼顾微机电领域涉及的学科中已有术语，名词术语是本领域其他类标准的根本，是行业的基础，是交流的工具。

在兼顾微机电技术涉及的其他领域已有术语的前提下，对名词术语进行权威而准确的定义，将加快推动本领域技术在所有涉及领域的传播和应用。

同时术语标准的制定将帮助从业者快速而正确的掌握本行业的名词术语，更好的交流沟通，促进微机电装置在各领域的研究、应用，避免因术语的不一致而造成的经济损失。

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本部分是关于微机电装置的通用术语。本部分适用于微机电技术领域。 本标准由一般术语；科学与工程；材料科学；功能要素；加工技术；键合组装技术；测量技术；应用技术八个部分100多条术语和定义组成。每部分大概包括几条至几十条不等的基础、通用术语。例如微机电器件、微机械、尺度效应、粘附、微摩擦、电介质上的电浸润、应力比、瞬时失效强度、残余应力、膜窗、电气故障延伸率、集成微探针、离子敏感场效应晶体管、微悬臂、微执行器、光驱动执行器、形状记忆合金执行器、光电传感器、互补金属氧化物半导体（CMOS）微机电系统、表面微加工、体微加工、表面改性、各向同性刻蚀、深反应离子刻蚀、电感耦合等离子体、扫描隧道显微镜加工、阳极键合、圆片级封装、扫描探针显微镜等。