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国家标准计划《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染》由 TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国计量科学研究院华南理工大学

主要起草人 王海张艾蕊王梅玲任丹华徐昕荣范燕

目录

项目进度

基础信息

计划号
20192091-T-469
制修订
制订
项目周期
18个月
下达日期
2019-07-12
标准类别
方法
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
71 化工技术
71.040 分析化学
71.040.40 化学分析
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

王海
张艾蕊
徐昕荣
范燕
王梅玲
任丹华

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14706: 2014。

采标中文名称:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染。

投票情况

投票日期
2018-08-29~2018-09-06
通过率
100.00%
投票日期
2020-11-23~2020-11-25
通过率
100.00%

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