国家标准《确定晶片坐标系规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 、上海合晶硅材料有限公司 。

主要起草人 卢立延 、孙燕 、潘金平 、杨素心 、楼春兰 、胡金枝 、李素青 。