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国家标准计划《电子级硫酸及试验方法》由 TC63(全国化学标准化技术委员会)归口上报,TC63SC7(全国化学标准化技术委员会硫和硫酸分会)执行 ,主管部门为中国石油和化学工业联合会

主要起草单位 湖北兴福电子材料有限公司中石化南京化工研究院有限公司等

目录

基础信息

计划号
20202886-T-606
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2020-08-07
申报日期
2019-03-18
公示开始日期
2019-11-08
公示截止日期
2019-11-22
标准类别
产品
国际标准分类号
71.060.30
71 化工技术
71.060 无机化学
71.060.30 酸
归口单位
全国化学标准化技术委员会
执行单位
全国化学标准化技术委员会硫和硫酸分会
主管部门
中国石油和化学工业联合会

起草单位

目的意义

电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到ppt级(ppt=1ng/Kg=10-12)。

目前,我国电子级硫酸产品完全依赖德国BASF等外企进口,严重制约我国芯片产业发展,是主要“卡脖子”产品之一。

2018年爆发的“中兴事件”和“晋华事件”凸显了芯片制造领域及辅助产业链关键产品技术及规范的重要性。

近两年,我国电子级硫酸制备技术取得突破,产品质量显著提高,电子级硫酸产品中金属离子浓度均小于10ppt,超越了国际SEMI-C12(金属离子<100ppt)级别,与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级(金属离子<10ppt),达到国内领先、世界一流水平。

目前国内还没有电子级硫酸的国家标准或行业标准,现行的硫酸标准有GB/T 534-2014《工业硫酸》、HG/T 4559-2013《超净高纯硫酸》和HG/T 2692-2015《蓄电池用硫酸》,由于电子级硫酸对金属和有机物杂质要求非常高,其含量远低于以上标准中技术指标要求,因此,制定适合我国国情的《电子级硫酸》国家标准,既可以促进该产品的健康发展,有效地规范相关企业的生产、更好地维护生产商和使用方的合法权益,也可以促进该产业的进步和发展、更好的使我国的产品与国际接轨,为电子级硫酸国产化提供技术支持,同时对解决“卡脖子”问题具有积极意义。

范围和主要技术内容

本标准规定了电子级硫酸详细规范,它涵盖了规范性引用的文件、术语的定义及单位符号,它规定了电子级硫酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。