国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 刘鹏 、孙永健 、丁晓民 、冯亚彬 、王健辉 。