国家标准《硅单晶抛光片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 、有色金属技术经济研究院 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 。

主要起草人 孙燕 、卢立延 、徐新华 、张海英 、楼春兰 、杨素心 、潘金平 、张雪囡 。