国家标准《电子工业用气体 高纯氯》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、光明化工研究设计院有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、太和气体（荆州）有限公司 、上海仪盟科技有限公司 。

主要起草人 周鹏云 、常侠 、廖恒易 、方华 、刘新明 、汪正宏等 。