国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。

主要起草人 孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。