国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中山大学 、浙江大学 、中国科学院大连化学物理研究所 。

主要起草人 陈建 、张训生 、谢方艳 、龚力 、张卫红 、盛世善 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 15969:2001。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量。