国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 工业和信息化部电子工业标准化研究院 、安徽鑫阳电子有限公司 。

主要起草人 黄英华 、谭建国 、刘军 、周历群 、钟华 、冯亚彬 。