国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第13研究所 、清华大学 、上海交通大学 、中北大学等 。

主要起草人 丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。