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国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 南京国盛电子有限公司宁波立立电子股份有限公司信息产业部专用材料质量监督检验中心

主要起草人 马林宝唐有青刘培东李静金龙吕立平

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 14146-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
被代替日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 14146-1993
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 14146-1993

被以下标准代替

GB/T 14146-2021 GB/T 14146-2021 全部代替

起草单位

起草人

马林宝
唐有青
金龙
吕立平
刘培东
李静

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