国家标准 - 全国标准信息公共服务平台

注册

国家标准《电子工业用气体氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位化学工业部西南化工研究院。

目录

标准状态

基础信息

标准号: GB/T 16942-1997
发布日期: 1997-08-13
实施日期: 1998-05-01
被代替日期: 2010-05-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

71 化工技术

71.100 化工产品

71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

被以下标准代替

被 GB/T 16942-2009 GB/T 16942-2009 全部代替

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：SEMI C3.19:1993。

采标中文名称:。

起草单位

化学工业部西南化工研究院

相近标准(计划)

电子工业用气体氨

20062750-T-469 电子工业用气体氨

GB/T 14604-1993 电子工业用气体氧

GB/T 16945-1997 电子工业用气体氩

GB/T 16943-1997 电子工业用气体氦

GB/T 16944-1997 电子工业用气体氮

20132256-T-469 电子工业用气体丙烯

20132257-T-469 电子工业用气体硅烷

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261036
备案号：京ICP备09001239号-6