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国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中国科学院微电子中心

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 16879-1997
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.020
31 电子学
31.020 电子元器件综合
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

采标情况

本标准等同采用其他国际标准:SEMI P21:1992。

采标中文名称:。

起草单位

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