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国家标准《电子工业用气体 氮》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 化学工业部西南化工研究院

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 16944-1997
发布日期
1997-08-13
实施日期
1998-05-01
被代替日期
2010-05-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

被以下标准代替

GB/T 16944-2009 GB/T 16944-2009 全部代替

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准:SEMI C3.28:1992(1995)。

采标中文名称:。

起草单位

相近标准(计划)