国家标准《电子工业用气体 磷化氢》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 化工部光明化工研究所 。
GB/T 14851-1993 废止
GB/T 14851-2009 （全部代替）
本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。
采标中文名称:。
全国标准信息公共服务平台
