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国家标准《电子工业用气体 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 光明化工研究设计院

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 17874-1999
发布日期
1999-09-16
实施日期
2000-06-01
被代替日期
2011-05-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

被以下标准代替

GB/T 17874-2010 GB/T 17874-2010 全部代替

起草单位

相近标准(计划)