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国家标准《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位洛阳单晶硅有限责任公司。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 19922-2005 现行

硅片局部平整度非接触式标准测试方法

基础信息

标准号: GB/T 19922-2005
发布日期: 2005-09-19
实施日期: 2006-04-01

标准类别

方法

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.01

77 冶金

77.040 金属材料试验

77.040.01 金属材料试验综合

归口单位

工业和信息化部（电子）

执行单位

工业和信息化部（电子）

主管部门

工业和信息化部（电子）

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

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