国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 。

主要起草人 马农农 、何友琴 、何秀坤 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 20341:2003。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法。