国家标准计划《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中山大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13084:2011(E)。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准。

质量标是二次离子质谱仪的重要性能指标，它在一定条件下、一定时间内会发生漂移。

这和仪器的性能以及仪器操作条件有关，会随着仪器状态和操作条件变化而发生变化。

因此对质量标进行校准对离子质量测量数据的准确性具有十分重要的意义，目的是对质谱质量轴的校准提供具体的操作指南。

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适用范围包括商用的二次离子质谱仪系统； 主要技术内容包括制备聚碳酸酯样品、获取SIMS谱数据、计算质量准确度、优化仪器参数以及校准程序等。