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国家标准计划《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后10个月正式实施。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司上海合晶硅材料有限公司有色金属技术经济研究院无锡华瑛微电子技术有限公司龙腾半导体有限公司厦门科鑫电子有限公司

主要起草人 骆红潘文宾赵而敬孙燕张海英徐新华温子瑛胡金枝李素青马林宝李俊需

目录

项目进度

基础信息

计划号
20173545-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2018-01-09
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

骆红
潘文宾
张海英
徐新华
李素青
马林宝
赵而敬
孙燕
温子瑛
胡金枝
李俊需

投票情况

投票日期
2020-01-03~2020-01-07
通过率
100.00%

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