国家标准计划《微纳米（线间隔）标准样板》由 TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、上海计量测试技术研究院 、国家量具质量监督检验中心 、中国计量科学研究院 。

随着微纳米领域的快速发展，1997年9月国际计量委员会长度咨询委员会(CIPM/CCL)确定了在几何度量领域的几个关键特征的比对，分别为线宽标准样板（Nano1），台阶高度标准样板（Nano2），线标度标准样板（Nano3），一维光栅标准样板（Nano4），二维光栅标准样板（Nano5）。

在质量体系中，为了实现量值的统一与标准化，保证几何量值传递的准确性与溯源性，越来越多的微纳米标准样板被用于测量仪器的校准与溯源性的工作中。

国家计量检定规程/规范JJG 550－1988《扫描电子显微镜检定规程》和JJF 1351－2012《扫描探针显微镜校准规范》中明确规定使用纳米线间隔样板对显微镜的示值误差进行比对计量。

目前国内无标可循、选用产品无依据、市场混乱、给仪器使用单位的校对带来很大的困扰，并严重制约着产业的发展。

统一制定产品国家标准，对规范产品市场无序竞争，保证产品质量，满足市场需求，推进产业结构的完整及优化，为产品的生产、销售、使用等环节提供强有力的技术支撑，促进我国微纳米技术健康、有序的发展，推动纳米制造业和精密加工等产业的稳步发展和技术进步。

本标准规定了微纳米(线间隔)标准样板的术语和定义、型式与基本参数、技术要求、试验方法、检查条件、检查方法、标志与包装等。 本标准适用于周期尺寸为50nm～10μm的微纳米(线间隔)标准样板。

JSJL2016210B012 微纳尺寸线距标准样片的研制与定标技术研究