国家标准计划《靶材与背板结合强度测试方法》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 有研亿金新材料有限公司 。

我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《中国制造2025》和《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将“高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。

其中，靶材是关键的基础支撑材料，但目前国内靶材生产技术尚不成熟，多项技术还没有相应的国家标准。

例如，本申请标准（靶材与背板结合强度试验方法）等。

这些很大程度上制约了国内靶材的研发、制作及工业化生产。

因此，需要制定相关的标准，以促进现有产品质量的提高，确保靶材的生产、检测和质量的规范统一，满足行业统一标准。

本标准即应十三五国家重点研发计划-靶材技术标准规范（项目编号）而起草申请。

对于复合型靶材，首先，低的结合强度会造成靶材变形、局部开裂等，从而影响镀膜性能，如镀膜厚度均匀性、微颗粒（Particles）数量；其次，极低的结合强度会导致掉靶，砸坏流线产品及溅射设备配件等，给客户带来重大损失。

即靶材与背板的结合强度是关系到产品稳定性、可靠性，是其重要的性能指标。

而现有国内外标准未有该方面的标准规范，为此，针对现有标准的内容缺失，结合靶材自身特点而制定申请本标准。

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本申请标准为制定项目，适用于需与背板结合的复合型靶材，应用领域包括集成电路、磁记录、平面显示、太阳能电池等微电子镀膜行业。本标准的技术内容包括：专业术语、靶材与背板的结合种类、结合强度的分类（抗拉强度、剪切强度）、结合强度的试验方法、结合强度的试验条件、样品的取样及尺寸规格等。

Al、Cu、Ti、Ta、W、Mo、Cr及其合金等与背板复合型靶材，型号包括SIP、IMP、Tango、AVIZA、SPTS等；

2017YFF0208500-新材料领域先进功能材料关键技术标准研究