注册

国家标准计划《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后个月正式实施。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所

主要起草人 孙宝娟赵丽霞王军喜曾一平李晋闽

目录

项目进度

基础信息

计划号
20110045-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2011-10-13
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.20
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.20 金属材料无损检测
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

孙宝娟
赵丽霞
李晋闽
王军喜
曾一平

相近标准(计划)