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国家标准计划《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院中国电子科技集团公司第四十八研究所北京北方华创微电子装备有限公司

主要起草人 冯亚彬肖友文龙辉裴会川曹可慰赵志然李补忠郑建宇王赶强李小娟孙朋涛

目录

项目进度

基础信息

计划号
20130144-T-469
制修订
制订
项目周期
36个月
下达日期
2013-08-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31.220
31 电子学
31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

冯亚彬
肖友文
曹可慰
赵志然
王赶强
李小娟
龙辉
裴会川
李补忠
郑建宇
孙朋涛

投票情况

投票日期
2020-03-25~2020-04-24
通过率
87.16%

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