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国家标准计划《电子工业用气体 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南化工研究设计院上海华爱色谱分析技术有限公司光明化工研究设计院

主要起草人 孙福楠方华庄鸿涛周鹏云

目录

项目进度

基础信息

计划号
20081119-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2008-11-03
全部代替标准
GB/T 17874-1999
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

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