国家标准计划《电子工业用气体 氮》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 周泽义 、周鹏云 。