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国家标准计划《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 南京国盛电子有限公司宁波立立电子股份有限公司

主要起草人 马林宝骆红刘培东谭卫东吕立平

目录

项目进度

基础信息

计划号
20065629-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2006-07-05
全部代替标准
GB/T 6617-1995
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

马林宝
骆红
吕立平
刘培东
谭卫东

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