国家标准计划《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、宁波立立电子股份有限公司 。

主要起草人 马林宝 、骆红 、刘培东 、谭卫东 、吕立平 。