国家标准计划《电子工业用气体 六氟丁二烯》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、湖北省标准化与质量研究院 、湖北光谷标准创新科技有限公司等 。

六氟丁二烯是一种新型的电子气体，主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。

优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体。

C4F6用作半导体级氟气体的市场需求在全面增长。

目前，国内没有高纯六氟丁二烯气体国家标准。

因此，制定六氟丁二烯产品国家标准，无论是国家需要、市场需要还是对用户负责都是我们必须要进行的一项具有战略意义的工作。

目前我国电子工业用六氟丁二烯气体基本依靠从国外气体公司进口，然而国外各气体公司规定的产品技术指标差别较大，因此制定出符合我国电子工业领域实际使用情况的产品技术要求及检测方法对质量控制、贸易及今后六氟丁二烯国内产业化生产均有重要意义。

本标准规定了电子工业用六氟丁二烯的技术要求，试验方法、检验规则、包装、标志、贮存、运输和安全。 本标准适用于以工业三氟一氯乙烯为原料，然后纯化得到电子工业用六氟丁二烯。它主要用于半导体技术领域。