国家标准计划《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 国家太阳能光伏产品质量监督检验中心（无锡市产品质量监督检验院） 。

流化床法生产的颗粒硅具有投资少、成本低等特点，同时颗粒状的多晶硅对下游太阳能光伏电池应用也具有减少生产环节的优点，该技术的利用可降低太阳能光伏电池及光伏发电的成本，进而扩大太阳能发电占能源消耗的比例，减少温室气体排放，符合大力发展清洁可再生能源的趋势。

流化床颗粒硅是多晶硅铸锭的原料之一，多晶硅铸锭是晶硅太阳能电池生产过程（石英砂——多晶硅——铸锭——硅片——电池片——晶硅太阳能电池组件）中的一个重要环节，由于在多晶硅颗粒料生产过程中通入氢气，会造成成品颗粒硅含有氢元素。

光伏多晶硅含有氢会影响多晶硅铸锭生产过程的安全性和多晶硅锭的品质。

在后续的多晶硅铸锭过程中，颗粒硅在投料时由于含氢易发生喷溅，沾污铸锭炉的视窗造成看不清炉内情况影响铸锭过程生产控制，沾污石英坩埚壁影响多晶硅铸锭质量，生产企业需要通过测定氢含量以控制颗粒硅的质量，然而经互联网查询目前国内外均没有测定硅材料中氢含量的标准方法或非标准方法。

有必要制定国家标准方法，填补硅材料中氢含量测定方法空白，为颗粒硅的生产、检验、质量控制提供重要依据，有利于保障晶硅太阳能电池的原材料质量进而保障产品质量。

本标准规定了用脉冲加热惰性气体熔融-红外吸收法测定流化床法颗粒硅中氢含量的方法。本标准适用于流化床法颗粒硅，也可以应用于其它光伏硅材料，包括生产光伏组件的各类晶体硅材料，例如多晶硅粉末、多晶硅颗粒、多晶硅块、多晶硅锭、多晶硅片和单晶硅棒、单晶硅块、单晶硅片等，也可以应用于生产多晶硅的原料硅粉、工业硅。本标准方法测定范围为氢的质量分数0.00005%～0.2500%。本标准主要技术内容有1.范围、2.规范性引用文件、3.方法提要、4.试剂和材料、5.仪器和设备、6.样品、7.分析步骤、8.结果报告、9.精密度、10.质量保证与控制。