国家标准计划《光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 国家太阳能光伏产品质量监督检验中心（无锡市产品质量监督检验院） 。

在光伏产业链中，工业硅粉是提纯生产太阳能晶硅电池材料多晶硅的原料，多晶硅中氧含量的高低是多晶硅质量好坏的重要标志，因为氧含量过高的硅材料，不仅对单晶生长、硅片及硅器件的质量都有很大的影响，而且在其后的各工序中也没有相应能降低其中氧含量的方法和手段，所以在多晶硅制备时就严格控制原料工业硅粉和产品多晶硅中的氧含量是非常必要的。

目前没有工业硅粉、多晶硅等光伏硅材料中氧含量测定方法的国家标准或行业标准，有必要制定国家标准以满足光伏产业的蓬勃发展带来对工业硅粉、多晶硅等光伏硅材料氧含量检测不断增长的迫切需求，填补这方面的标准方法空白，为光伏硅材料的生产、检验、质量控制提供重要依据，有利于保障光伏产品质量，将产生良好的经济效益和社会效益。

本标准规定了用脉冲加热惰性气体熔融-红外吸收法测定光伏硅材料中氧含量的方法。本标准适用于光伏硅材料，包括生产多晶硅的原料硅粉、工业硅和生产光伏组件的各类晶体硅材料，例如多晶硅粉末、多晶硅颗粒、多晶硅块、多晶硅锭、多晶硅片和单晶硅棒、单晶硅块、单晶硅片等。测定范围为氧的质量分数0.0002%～0.4000%。本标准主要技术内容有1.范围、2.规范性引用文件、3.方法提要、4.试剂和材料、5.仪器和设备、6.样品、7.分析步骤、8.结果报告、9.精密度、10.质量保证与控制。