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国家标准计划《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》由 TC294(全国废弃化学品处置标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国石油和化学工业联合会

主要起草单位 杭州格林达化学有限公司中海油天津化工研究设计院有限公司等

目录

基础信息

计划号
20180902-T-606
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2018-07-18
申报日期
2017-04-28
公示开始日期
2018-01-03
公示截止日期
2018-01-17
标准类别
方法
国际标准分类号
13.030.20
13 环保、保健和安全
13.030 废物
13.030.20 液态废物、淤泥
归口单位
全国废弃化学品处置标准化技术委员会
执行单位
全国废弃化学品处置标准化技术委员会
主管部门
中国石油和化学工业联合会

起草单位

目的意义

1、项目立项意义: 2016年全国标准化工作重点中提出“加快绿色化工产业标准研制”要求,本项目立项符合《国家标准化体系建设发展规划(2016-2020年)》第三章“重点领域”中第三条“加强生态文明标准化,服务绿色发展”专栏5“生态保护与节能减排领域标准化重点”中的“环境保护”范畴;在国务院发布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006年~2020年)》中,将资源节约、环境保护、废弃物处置等列入重点领域。

大宗废物综合利用对推动循环经济发展,促进节能减排,加快构建可持续的生产方式,具有重要意义。

在节能与综合利用重点领域优先申报国家标准项目,符合国家标准委《2017年国家标准项目立项指南》(国标委综合〔2017〕22号)要求。

2、项目立项目的: 据统计,到2019年中国大陆主要面板生产线(4.5代线及以上)可以达到42条,其中8代线以上生产线14条。

这些产线的运行和建设,需要大量的光刻工艺配套材料。

光刻工艺主要包括薄膜沉积、光阻涂覆、曝光、显影、蚀刻、剥离光阻、清洗等工序,主要应用材料和化学品有光阻、稀释液、显影液、蚀刻液、和剥离液等。

一般说来,一个完整制程如TFT-LCD含有10道以上光刻工序,应用大量高纯电子化学品。

在湿电子化学品使用量迅速增加的同时,随之而来是其日益增多的废液的处理问题。

稀释液(Thinner或稀释剂)应用于光刻工艺前端光阻的清洗过程。

在光阻涂覆的过程中,如光阻涂布喷嘴、涂布周围设备或基板边缘等部分也会沾附光阻,这些在之后进行的基板光阻涂布工艺中会引发不良现象,必须去除,为此使用的有机溶剂统称为稀释液。

稀释液废液通常包含光阻成分,此外在收集废液的过程中还可以进一步包含源自周边环境的颗粒(partical)、金属成分,水分或其他有机溶剂。

像这样被杂质污染的有机溶剂,其自身利用价值降低,此外,在进行焚烧处理时会有生成有害化学物质的问题。

据调研,国内面板厂家关于稀释液废液回收再利用方法良莠不齐,由于无统一标准来指导和规范行业内处理处置行为,造成资源的浪费及环境的再次污染。

随着高世代TFT-LCD面板线纷纷上马,稀释液废液必将大量产生,行业急需统一的回收再利用方法标准,以避免由于处理方法不当带来的资源浪费和环境问题。

因此,制定《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》国家标准势在必行,对我国实现可持续发展将具有深远的现实意义。

范围和主要技术内容

本标准规定了液晶面板制造稀释废液的组成、回收再利用方法及环境保护。 本标准以液晶面板制造稀释废液回收再利用为目标,规范了液晶面板制造稀释废液回收再利用方法和工艺要求。本标准适用于液晶面板制造稀释废液回收再利用。