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国家标准计划《砷化镓单晶位错密度的测试方法》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报及执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会

主要起草单位 有研光电新材料有限责任公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司

目录

基础信息

计划号
20173473-T-610
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2018-01-09
申报日期
2016-12-30
公示开始日期
2017-10-19
公示截止日期
2017-11-02
标准类别
方法
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
执行单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
中国有色金属工业协会

起草单位

目的意义

位错密度是砷化镓单晶的基本性能要求之一,直接影响后续产品质量。

本标准规定了砷化镓单晶位错密度测试方法的方法原理、试样制品、测试步骤、结果计算等。

但2006版标准中部分内容已不适用,需要修订。

本次修订主要修订制样过程及制样过程中仪器设备的使用,解决旧有标准制样过程中出现的样品表面脏污问题,提高测试的准确性,提高测试效率,进而提高标准可操作性和实用性、先进性。

范围和主要技术内容

本标准适用于位错密度为0~100 000个/cm2的砷化镓单晶的位错密度的测试。检测面为{111}和{100}面。本次修订主要对原标准中不适用的内容进行调整,根据最新的腐蚀方案开展试验,获得精密度。主要变动内容如下: 试样制备中“4.2 研磨 ”增加“使用磨片机研磨单晶样片”内容;“4.3.1 用新配制的H2SO4:H2O2:H2O=3:1:1改为H2SO4:H2O2:H2O=2:1:1”;“4.3.2 位错腐蚀”中适当降低腐蚀温度,延长腐蚀时间;“5.1 金相显微镜,放大倍数为100~500倍”改为“5.1 金相显微镜或带数码成像的金相显微镜,放大倍数为100~500倍”;”6 测试步骤与位错观测“中增加“若使用放大同样倍率带数码成像的金相显微镜,则需要减小测点之间的距离,增加测点以平衡视场减小造成的位错密度误差的增大”。