国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 。

由于微机电系统用材料测试的不准确性，会导致器件性能不稳定，成品率低，可靠性差。

因此，利用薄膜拉伸性能测试的带弯曲试验方法，提高微结构的可靠性具有重要意义 。

经过实验验证，利用薄膜拉伸性能测试的带弯曲试验方法可以较好的满足MEMS结构的拉伸性能测试的需求。

本标准规定了带弯曲试验方法来测量高精度，重复性，适度的努力和处理相比，传统的拉伸测试薄膜的拉伸性能。这种测试方法是有效的测试件的厚度在50纳米和几毫米之间，并与一个长宽比（长度为厚度）超过300。 在微机电系统或微型机械中广泛采用的是双固定支架之间的带（或桥）。制作这些条比传统的拉伸试验件容易得多。测试程序是如此简单，易于自动化。本标准可以用作微机械生产的质量控制测试，因为它的测试吞吐量是非常高的相比，传统的拉伸试验。