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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中机生产力促进中心

目录

基础信息

计划号
20171124-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2017-07-21
申报日期
2016-06-29
公示开始日期
2017-05-15
公示截止日期
2017-05-29
标准类别
方法
国际标准分类号
31.080.99
31 电子学
31.080 半导体分立器件
31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

目的意义

由于微机电系统用材料测试的不准确性,会导致器件性能不稳定,成品率低,可靠性差。

因此,利用薄膜拉伸性能测试的带弯曲试验方法,提高微结构的可靠性具有重要意义 。

经过实验验证,利用薄膜拉伸性能测试的带弯曲试验方法可以较好的满足MEMS结构的拉伸性能测试的需求。

范围和主要技术内容

本标准规定了带弯曲试验方法来测量高精度,重复性,适度的努力和处理相比,传统的拉伸测试薄膜的拉伸性能。这种测试方法是有效的测试件的厚度在50纳米和几毫米之间,并与一个长宽比(长度为厚度)超过300。 在微机电系统或微型机械中广泛采用的是双固定支架之间的带(或桥)。制作这些条比传统的拉伸试验件容易得多。测试程序是如此简单,易于自动化。本标准可以用作微机械生产的质量控制测试,因为它的测试吞吐量是非常高的相比,传统的拉伸试验。