国家标准计划《非蒸散型吸气材料及制品吸气性能测试方法》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
77 冶金 |
77.120 有色金属 |
随着科学技术发展, 许多生产和科研领域需要的真空条件越来越高。
例如表面科学、半导体工业和电真空器件等需要的真空度达到 10-10Torr或更高的水平。
要想达到这样水平的真空环境, 没有合适的材料选择、表面处理以及抽气方式是很难实现的。
由于非蒸散型吸气剂具有体积小、抽速大并在常温下可以与活性气体形成稳定化合物, 达到抽气目的, 所以被广泛应用于工业和科技领域。
近年来,新型吸气剂的开发和应用取得很大的进步。
现代真空控制和测量技术不断发展,超高/极高真空(超高真空范围一般定义为10-5Pa~10-9Pa ,极高真空范围一般定义为低于10-9Pa) 的测量技术日趋成熟,原标准制定于1980年代末,已不能适应各种高性能非蒸散型吸气材料及制品吸气性能的测量,因此,需研究制定新的吸气性能测试方法。
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本标准适用于吸气用锆铝合金粉、 吸气用锆铝合金环件和片件、吸气用锆铝合金复合带材、释汞吸气用复合带材及室温吸气用锆石墨材料与制品等非蒸散型吸气材料及制品的吸气速率、吸气容量和气体含量的测定。 本标准主要技术内容包括:标准适用范围、规范性引用文件、术语说明、测试原理、测试设备和条件、试件制备、测试步骤、结果计算、误差分析和测试报告。 标准制定的核心内容,是研究采用现代稳定成熟的超高/极高真空吸气测试方法,制定具有先进性和适用性的吸气性能测试规范。 采用定压法,利用试验气体在分子流状态流过已知流导的真空元件进入试样室时,在其两端出现压差的现象,通过恒定一端压强,测量另一端随时间变化的压强值,据此计算出不同时间的吸气速率和吸气量。