国家标准计划《纳米定位与扫描平台术语》由 TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 沈阳建筑大学 、天津三英精密仪器有限公司 、中国计量科学研究院 。

纳米定位与扫描技术是与超精密加工和测量相关的高新科技产业的基础和核心技术之一，应用领域涉及半导体加工和检测设备、LCD 平板显示器的加工和检测设备、MEMS与NEMS制造加工设备、微纳米观测仪器（SPM、SEM等）、生物医学显微和操作仪器、通讯业制造设备、大规模存储器制造设备、精密光学设备以及航空航天、军事国防等几乎所有高科技研究领域，成为高端产业发展必不可少的部分。

近年来我国自主研发生产的纳米定位平台产品开发起点高、发展速度快，许多产品指标已经接近或达到国际先进水平，借此契机制定纳米定位平台的国际、国内标准，可极大提升我国在该领域中对世界范围的影响力，可加强标准化工作与科技创新活动的紧密结合，促进我国自主创新技术通过标准快速形成生产力，增强产品竞争力，提高我国的自主创新能力。

本标准旨在便于制造商以一种有效统一的方式对仪器规格和技术指标的建立提供误差检测方法和依据，帮助用户表征仪器误差特性进而设计实验。规定了纳米扫描与定位平台的通用词汇。主要技术内容包括：1 范围,； 2 规范性引用文件； 3 静态定位特性； 4 动态扫描特性； 5 机械特性；6检测要求； 7 验收检测。

2011BAK15B09 微纳技术计量标准和标准物质研究； 2012AA041204 先进传感器技术与系统

本标准不涉及到国内外专利