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国家标准计划《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由 TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口上报,TC159SC5(全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会)执行 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 清华大学北京清软英泰信息技术有限公司北京机械工业自动化研究所

目录

基础信息

计划号
20162348-T-604
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2016-12-28
申报日期
2016-01-28
公示开始日期
2016-10-14
公示截止日期
2016-10-30
标准类别
基础
国际标准分类号
35.240.50
35 信息技术、办公机械
35.240 信息技术应用
35.240.50 信息技术在工业中的应用
归口单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

目的意义

本项目通过建立含工艺腔室类集成电路装备设计平台信息模型,对服务于该类装备的设计软件平台进行了规范化的描述,并提出了平台需满足的基本要求和平台结构体系。

标准化的信息模型,是该类设计平台软件系统实现的重要基础,也是该类软件能有效服务于相关装备制造企业的前提。

范围和主要技术内容

本标准旨在建立含工艺腔室类集成电路装备设计平台信息模型,适用于实现该类设计平台的软件提供方。该平台实例化版本的服务对象主要是含工艺腔室类集成电路装备制造企业,满足企业装备研发的多学科协同设计需求,以及参数化、集成化的优化设计需求。本标准描述了该类设计平台软件系统的一般性要求,以及平台应具有的基本结构、各部分功能及联系,同时对平台端的数据库模型也作了全面的描述。

国家级科研专项支撑

国家科技项目“IC装备工艺模拟与多领域建模工艺仿真设计平台”。