国家标准计划《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》由 TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 沈阳建筑大学 、天津三英精密仪器有限公司 、中国计量科学研究院 。

超精密制造技术的高速发展态势，如微系统技术、微机电系统以及半导体最小特征尺寸的持续突破，促使超精密工程发展进入了纳米级尺度系统，而基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的分辨率可以达到次纳米级，因而是国际上目前应用最广泛的一种定位扫描平台。

本项目针对基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的基本特征，建立一种有助于用户和制造商的有效统一的方式对仪器规格和技术指标提供验收检测的方法和依据。

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的技术指标的术语定义、评定方法、检测方法和数据处理方法。适用于纳米定位与扫描产品中静态特性、动态特性和机械特性的误差检测。包括：1 范围；2 规范性引用文件；3术语和定义；4 检测要求；5 验收检测；6 检测报告；7 产品文件和样本说明。

2011BAK15B09 微纳技术计量标准和标准物质研究； 2012AA041204 先进传感器技术与系统

本标准不涉及到国内外专利。