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国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院浙江晶盛机电股份有限公司中电科电子装备集团有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司上海微电子装备(集团)股份有限公司东莞市中镓半导体科技有限公司江苏卓远半导体有限公司

主要起草人 张军华冯亚彬曹可慰曹建伟裴会川朱亮周哲武小娟杜若昕唐彩红丁晓民傅林坚魏唯田涛刘英斌李国平王宏智

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 40577-2021
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31.220
31 电子学
31.220 电子电信设备用机电元件
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

张军华
冯亚彬
裴会川
朱亮
杜若昕
唐彩红
魏唯
田涛
王宏智
曹可慰
曹建伟
周哲
武小娟
丁晓民
傅林坚
刘英斌
李国平

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