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国家标准《电子特气 三氟化氮》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 昊华气体有限公司中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司天津绿菱气体有限公司福建久策气体股份有限公司海宁市英德赛电子有限公司江西华特电子化学品有限公司浙江省化工研究院有限公司昊华气体有限公司西南分公司苏州金宏气体股份有限公司杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资(上海)有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司浙江东开半导体科技有限公司和立气体(上海)有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

主要起草人 王娟付梦月王少波孟祥军傅铸红陈艳珊马建修何经余曹素英宋富财苏子杰丁高松裴友宏韦杰广史婉君张建君王新喜孙猛鬲春利张琦炎吕博文陈洁吴靓方华依俊廷何波杨康黄辉宫兵王大为易达文李阳梁永强梁成科高静马昌宁唐霞梅李光辉周鹏云黄超

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 21287-2021
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
全部代替标准
GB/T 21287-2007
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 21287-2007

起草单位

起草人

王娟
付梦月
傅铸红
陈艳珊
曹素英
宋富财
裴友宏
韦杰广
王新喜
孙猛
吕博文
陈洁
依俊廷
何波
宫兵
王大为
梁永强
梁成科
唐霞梅
李光辉
王少波
孟祥军
马建修
何经余
苏子杰
丁高松
史婉君
张建君
鬲春利
张琦炎
吴靓
方华
杨康
黄辉
易达文
李阳
高静
马昌宁
周鹏云
黄超

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