国家标准《电子特气 三氟化氮》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 昊华气体有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、天津绿菱气体有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、海宁市英德赛电子有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。

主要起草人 王娟 、付梦月 、王少波 、孟祥军 、傅铸红 、陈艳珊 、马建修 、何经余 、曹素英 、宋富财 、苏子杰 、丁高松 、裴友宏 、韦杰广 、史婉君 、张建君 、王新喜 、孙猛 、鬲春利 、张琦炎 、吕博文 、陈洁 、吴靓 、方华 、依俊廷 、何波 、杨康 、黄辉 、宫兵 、王大为 、易达文 、李阳 、梁永强 、梁成科 、高静 、马昌宁 、唐霞梅 、李光辉 、周鹏云 、黄超 。