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国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 南京国盛电子有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司中电晶华(天津)半导体材料有限公司有研半导体材料有限公司河北普兴电子科技股份有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司瑟米莱伯贸易(上海)有限公司无锡华润上华科技有限公司义乌力迈新材料有限公司

主要起草人 骆红潘文宾杨素心赵扬赵而敬张佳磊李慎重黄黎严琴黄宇程皮坤林

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 14146-2021
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
全部代替标准
GB/T 14146-2009
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 14146-2009

起草单位

起草人

骆红
潘文宾
赵而敬
张佳磊
严琴
黄宇程
杨素心
赵扬
李慎重
黄黎
皮坤林

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